在半导体封装工艺中,固晶机(Die Bonder)作为关键设备之一,其性能直接影响芯片封装的良率和效率。Esec 2100系列固晶机凭借其卓越的精度、速度和稳定性,成为*封装领域的标杆设备。本文将深入解析该系列设备的技术特点、应用场景及行业价值。
1. 亚微米级定位精度
采用线性电机驱动和高分辨率光学系统,实现±0.5μm的贴装精度,满足Flip Chip、SiP等*封装需求。
2. 模块化设计架构
通过可更换的吸嘴模块、视觉系统和焊头组件,快速适配不同尺寸芯片(2x2mm至15x15mm)和封装形式。
3. 智能温度控制系统
集成实时温度反馈的加热平台,控温范围50-400℃±1℃,支持环氧树脂、共晶焊等多种粘接工艺。
1. 功率器件封装
针对IGBT、MOSFET等大尺寸芯片(10x10mm以上),通过高刚性机械结构和真空吸附系统实现零破损转移。
2. 光电子器件组装
搭配UV固化模块和精密点胶系统,适用于激光器、传感器等光通信器件的共晶焊接。
3. 3D堆叠封装
多工位协同作业能力支持TSV芯片的精准对位,实现每分钟300+芯片的贴装速度。
1. AI视觉检测系统
集成深度学习算法,可自动识别芯片缺陷(裂纹、崩边等)和焊盘偏移,不良品拦截率达99.97%。
2. 数字孪生接口
通过OPC UA协议与MES系统直连,实时监控设备OEE、MTBA等关键指标,助力智能工厂建设。
3. 绿色节能设计
采用再生制动能量回收技术,能耗较传统机型降低35%,符合SEMI S23能源标准。
型号 | 2106 | 2108 | 2110 |
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贴装精度 | ±1μm | ±0.8μm | ±0.5μm |
UPH | 12,000 | 15,000 | 18,000 |